“NanoPure”是Gas Delivery Total Solution的品牌,属于新莱集团,于1991年在台湾成立,并扩大了在中国江苏省昆山的生产设施。 为半导体、FPD、LED和光伏行业提供管道/管道和配件材料服务,“NanoPure”的核心理念是为气体输送应用提供高品质的“卫生材料”。 气体的供气和输送始终是半导体加工研究的主题,气源的纯度是确保加工准确性至关重要的因素。 在将气体转移到加工工具中的同时,保持纯度受到工艺工程师的高度监控。